2024年12月24日 / 最終更新日時 : 2024年12月24日 編集人 産業ガス・医療ガスウォッチ カンケンテクノ、2024年度省エネ大賞で『経済産業大臣賞』を受賞 「オンサイト型エキシマレーザー用Neガスリサイクル装置」、半導体露光プロセスで使用するネオンガスのリサイクル カンケンテクノ、2024年度(令和6年度)省エネ大賞で『経済産業大臣賞』を受賞。「オンサイト型エキシマレーザー用Neガスリサイクル装置」、半導体露光プロセスで使用するネオンガスのリサイクルhttps://t.co/uXomQCWTvY— 産業ガスと医療ガスのウォッチ｜ガスクロニクル (@gaschronicle) December 23, 2024 関連
